半导体无尘车间工程

洁净室工程按洁净程度可分为100级、1000级、10000级和100000级。半导体电子洁净室的洁净室要求是按照每立方米空气中0.5微米的尘粒数量计算的，通常在10万级以上的标准，细小颗粒，需要使用过滤器。一般来说，洁净室的风速越低，过滤效果越好。

在无尘车间设计中，风速越低，细颗粒粉尘的扩散作用越明显，这主要是因为洁净车间的风速越低，气流必须在过滤器中停留的时间越长。材料，灰尘会干扰他人，物体的影响越明显，过滤效率越高。在大多数情况下，如果在洁净室设计中使用高效过滤器，如果风速降低一半，粉尘传输率会降低近一个数量级，如果风速增加一倍，传输率会下降。增加一个数量级。在带有细小颗粒的粉尘扩散中，风速越高，阻力越大，如果过滤器寿命以最终阻力为准，风速越高，过滤器寿命越短。

在半导体电子无尘室项目中，类似于粉尘带有细小颗粒的扩散效应，如果滤材带静电，粉尘在滤材中停留的时间越长，就越容易被材料吸附。当半导体电子清洗车间的风速发生变化时，静电材料的过滤效果会发生很大的变化。因此，在设计无尘室技术时，如果材料上有静电，则在设计空调系统时必须尽量减少通过各个过滤器的空气量。对于以惯性机制为主的粗粉尘，根据常规理论，风速降低后，粉尘与纤维碰撞的概率会降低，过滤效率也会相应降低。但在实际应用中，这种效果并不明显，因为风速低，纤维从灰尘中的反弹力也小，粘尘的概率较高。